在操控過程中，由測厚探頭檢測到薄膜厚薄信號傳送到計算機，計算機把厚薄信號與當時設(shè)定均勻厚度進行對照，根據(jù)厚薄偏差量以及曲線改動趨勢進行運算，操控電機驅(qū)動閥門移動，當薄膜偏厚時，電機正向移動，風(fēng)口關(guān)小；相反，電機反向移動，風(fēng)口增大，通過改動風(fēng)環(huán)圓周…